或许的原因是管道，体系或泵部件走漏，前级泵的极限压力低，润滑油质量太差，油封欠好。维护办法是查看体系的泵，修补和纠正前级泵，并替换润滑油或油封。

  或许的原因是管道通道容量低，前级泵的泵速低。这时，有必要添加管道的管道容量，修补或替换前级泵。

  原因或许是进口处的压力太高，转子的端面与端盖的单侧触摸，而且前级泵将油回来到罗茨真空泵的泵室中。这是需求调整压力，转子和设备的防回来设置。

  在极点压力的作业状态下，由于真空泵旋转得非常快，因而气体不会经过壳体外表散热。由于温度忽然升高，转子和壳体之间的空隙变小，真空泵停止作业。在其他状况下，真空泵将不能发生线.罗茨真空泵过热

  前级泵的抽速低，导致紧缩比大，进口压力过高，冷却作用差，齿轮，轴承和油封润滑剂功用差。此刻，有必要替换前级泵，调整进口压力，调整油量以添加冷却水，保证润滑剂的质量和计量，并避免过热和泵组件的任何损坏。

  罗茨泵的方位不正确，有必要进行调整。在作业过程中，更多大颗粒进入罗茨泵腔内部，形成磨损和噪音。启动时的设定压力也或许太大而不会导致真空泵的部件过热而损坏。

  液体的忽然侵入会导致罗茨真空泵的损坏，由于在快速冷却的状况下，气体不能够到达所需的温度以蒸腾液体，而且蒸汽不能及时从泵中逸出。响应于这种状况，在处理室和罗茨泵之间需求接收器以吸收进入泵的液体以避免损坏罗茨线.外部尘埃累积

  在尘埃颗粒或尘埃的过程中，能够在真空泵的进口处装置尘埃过滤器，以维护罗茨泵和下流泵。罗茨真空泵需求以全音量水平运转。与旋片真空泵比较，罗茨真空泵不具有紧缩排气压力的内部紧缩功用。与旋片真空泵比较，一切与介质触摸的部件都是无油的，适用于罗茨真空泵的一切部件仍适用于干式真空泵。它结构严密相连，泵运转速度快。