罗茨泵的马达经过 个电子变频器操控转速以操控 罗茨泵的马达经过一个电子变频器操控转速以操控 压力

  在 在进气口高压时，马达转低速旋转以约束气流 马 转低 旋转 制 量并操控罗茨泵温度，来避免泵过热，而当达 到低压时，还能大大的提高频率来取得更大的抽 速！！！

  高压 = 生热 = 加快转子的热膨 胀 所以一般要到达许多压力（几 个毫巴-几十毫巴）后才发动罗 茨泵

  从上世纪80年代开端，Alcatel挑选多级罗茨技能作为规划和 出产干泵的核心技能和战略。 出产 的核 技能和战略 从规划到出产到服务，Alcatel 把握多级罗茨技能的方方面面 Alcatel 运用此技能于一切的干泵序列(抽速规模掩盖15 m3/hr to 10000 m3/hr)，并且得到现场的很多和长期的使 用证明可以可靠地适用于半导体,太阳能，及FPD制作中的各 种工艺要求。

  5 or 4 个紧缩级规划 每级竖向气体通路规划。 每级竖向气体通路规划 广大的中心级规划 泵腔零件无特别涂层 特别征对严苛环境运用高档防腐材 料

  其它技能 (claws, screw) 在高压段高的紧缩 比导致搞得功耗。 比导致搞得功耗

  假如进气口压力过高， 部分 假如进气口压力过高 一部分 气体将会顶开旁通阀回流至进 气口，保持而不超越罗茨泵的 最大压差！

  从Foreline过来的过量粉 尘可以终究靠此款的中心 级Trap下来。延伸泵的 p 惯例运用的寿数。