是指泵能从大气压力下开端抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他作业介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵平等量级或许挨近的机械真空泵。

  真空职业运用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的作业介质，在泵内起冷却、密封、光滑等多种效果。跟着科学技术的开展以及真空应用领域的扩展，原有的机械真空泵及其组成的抽气体系呈现了两个急需处理问题:一是泵的作业介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增添设备的保护本钱。其次，因为某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严峻蜕变，使泵反常作业。

  关于一般的无油真空体系来说，尽管可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流，但不能处理问题，并且使体系显得杂乱。而运用恰当型式的干式机械真空泵，则可以到达抱负的运用效果。

  干式螺杆真空泵，是使用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而发生的吸气和排气效果的抽气设备，两螺杆经精密动平衡校对，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有必定的空隙，因而泵作业时，相互之间无磨擦，作业平稳，噪音低，作业腔无需光滑油，因而，干式螺杆泵能抽除含有很多水蒸汽及少数粉尘的气体场合，极限真空更高，耗费功率更低，具有节能，免修理等长处。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。

  靠活塞往复运动使泵腔(气缸)的作业容积周期性地改变来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机类似。作业时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空枯燥和混凝土线)爪式真空泵

  涡旋无油真空泵的涡旋盘便是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋构成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的根本抽气组织。例如在双级涡旋无油真空泵中，有两个方向对应的固定涡旋盘，一个坐落两个涡旋盘之间的滚动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动构成容积一直在改变的新月形真空腔使气从抽气口吸入、排气口排出、完结排气循环。

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