单级旋片式真空泵是一种油封式旋转机械真空泵,能够独自运用,也能够作高真空的前级泵,即能够和增压泵、油分散泵组成机组。
作为单级旋片式真空泵只要一个作业室,它首要由定子、转子、旋片组成。如下图所示。转子偏心肠置于定子内。转子梢中装有两块旋片,两旋片之间装有绷簧。依托绷簧的弹力和泵旋转时的离心力使旋片紧贴于泵壁。
1.进气管2.滤网3.加油螺塞4.油标5.放油螺塞6.旋片7.弹铸8.转子9.气镇阀10.泵体11.排气阀12.排气管
一般将泵腔分红三部分:从进气竹到旋片分隔的空间称吸气(空间,由两旋片同泵壁分附出的空间称为胀大紧缩空间;排气阀到旋片分隔的空间称排气空间。如旋片处于垂充方位时,则把泵腔分红二部分(即吸气空间和排气空间)。但不论旋片处于什么方位,它一直把进气门和排气口分隔。排气阀浸在油里的意图是防止大气返流进入泵内。为防止电源忽然停电真空泵油返流入真空容器内,在进气口管道上装置一个电磁阀,一旦停电,电磁阀随把通道堵死,开泵抽气时,电磁阀吸上,通道翻开。
当转子在定子内旋转时,吸气空间的容积逐步增大而把被抽暇问中气沐吸入吸气空间。一起排气空间的容积逐步缩小,将前一周期已吸入的气体紧缩,当气体压力足够高,即大于油的重力和阀片弹力之和时,被抽气体顶开排气阀,穿过油层由排气管排出。
(1)旋片1处于笔直方位,并与转子和定子问的固定切点4重合,吸气进程没有开端。
(2)旋片1从A点转过必定视点,吸气空间逐步增大气体便从被抽暇问经过进气口进入吸气空间。
(3)旋片1抵达水平方位,旋片2正好将进气口封死,气体不再进入吸气空间,吸气量到达最大。
(4)旋片持续旋转,被关闭在旋片1、2之间的气体遭到紧缩,压强不断升高,当压强超越必定值时,气体便推开排气阀由排气管排出。
今后的排气就按照上面的进程重复进行。这样每个旋片起了二个效果:使泵腔从进气口吸入气体,紧缩已吸进来的气体,使其通讨排气阀排出去。当转子旋转一周时,旋片1,2各吸入一次气体和排出一次气体,因而转子旋转一周时,完成了两次吸气进程和两次排气进程。
单级泵的真空度比较双级旋片式真空泵要差一些,它的剩余气体分压强为5x10-1~1Pa,而总压强(剩余气体与剩余蒸汽分压强之和)有5Pa。
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